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《大國之材》原創文(wén)章，轉載請聯系微(wēi)信：EILIG2014
新材料在線 ID：xincailiaozaixian
圖(tu)片：受訪人提供、圖(tu)蟲創意
早在1842年，科(kē)學家格波夫就在(zài)實驗室中發現了(le)陰極濺射現象🧑🏾🤝🧑🏼，但(dàn)由于人們對濺射(shè)技術缺乏深入了(le)解，商業化的磁控(kòng)濺射設備直到1970年(nian)才逐漸應用于實(shi)驗室和小型生😄産(chǎn)。
20世紀80年代以後，随(suí)着以集成電路、信(xin)息存儲、液晶顯示(shi)器、光存儲器、電子(zi)控制器為主的電(dian)子與信息産業開(kai)始進⛹🏻♀️入高速發展(zhan)時期，磁控濺射技(ji)術才從實驗室應(yīng)用真正進入工業(ye)化規模生産應用(yong)領域。
然而，直到21世(shì)紀初，中國的靶材(cai)仍高度依賴進口(kou)，國🧑🏽🤝🧑🏻内竟無一家企(qǐ)業能夠提供高純(chún)金屬靶材，市場被(bèi)日立金屬、TDK等海外(wài)企✉️業完✌️全壟斷。
彼(bi)時，剛剛經曆轉企(qǐ)改制的有研集團(tuán)正在尋找産業化(hua)落地的項目，經過(guò)一年多時間的調(diao)研，有研團隊将目(mù)标對準了高純金(jin)屬靶材。
據全程參(can)與研發的現任回憶，當時業(ye)内對有研的選擇(ze)反響并不積極，很(hěn)多人根本不相信(xìn)中國人還能生産(chǎn)半導體、集成電路(lu)🍉用靶材。
2005年，剛剛進(jìn)入靶材領域的有(you)研團隊對靶材技(ji)術的認識如同一(yi)🧑🏽🤝🧑🏻張白紙，全憑信念(niàn)支撐。
三年以後，有(yǒu)研的靶材進入市(shi)場，并獲得客戶的(de)基🙇🏻本認可💃，産品🐉開(kāi)始走向正軌。
2012年，有(yǒu)研成為批進入國(guó)家重大專項的企(qi)業，參與了🙇🏻02專✌️項（集(ji)成電♌路）後期的所(suǒ)有項目。在項目的(de)助力下，憑借對金(jīn)屬材料的🆚深刻理(li)解和材料學的長(zhǎng)期積累，有研成功(gōng)突⚽破了集👣成電路(lù)靶材從材料到制(zhi)品的全套技術，讓(rang)國産高純金屬靶(ba)材達到了國際先(xian)進水平，并擁有全(quán)部自主知識産權(quán)。
用王興權的話說(shuō)：“現在的有研可以(yi)跟國際上任何微(wei)電子材料大公司(sī)平等的進行市場(chang)對話和技術對話(huà)。”
01
《：您覺得(de)我們國内的高純(chun)金屬靶材目前的(de)發展水平處于什(shí)麼🌈樣的位置？我們(men)存在哪些發展痛(tòng)點？
王興權：我個人(rén)認為在微電子靶(bǎ)材這塊，中國應該(gāi)屬于第二梯隊🔞，梯(ti)隊🈲仍然是日本的(de)GX公司和美國的霍(huò)尼爾🏃等公📱司。在過(guò)去十幾年裡🛀，中國(guó)的微電子靶材從(cóng)零💔開始，能㊙️發展到(dao)目前的水平，應🈚該(gai)說成🐅果是非常顯(xiǎn)著的。
當前的行業(yè)痛點問題已經不(bu)明顯了，國内的微(wei)電子靶材基本已(yǐ)經與國際領先企(qi)業處于同一競争(zhēng)水平。原來談到痛(tòng)點，可以說渾身都(dōu)是痛，關鍵指标🌐不(bu)清、核心技術不通(tong)、市場認可度低、人(rén)才隊伍缺乏、原材(cái)料受制于人等等(děng)，都是我們曾經經(jing)曆的痛點。
但是國(guó)内的微電子靶材(cai)發展到今天，原來(lái)的錐心之痛已經(jing)不存在了。但是，我(wo)們畢竟處于第二(er)梯隊，更全面的🌍描(miao)述當前國内微電(diàn)子靶材的發展水(shuǐ)平，我認為是多數(shù)跟從，部分平起，個(ge)别超🐇越。
《大國之材(cai)》：有研新材近幾年(nián)高純金屬靶材的(de)市場營收增顯💞著(zhe)🌈，您分析主要是哪(na)些原因？
王興權：我(wo)覺得高純金屬靶(bǎ)材的業績增長主(zhǔ)要取決于三個因(yin)素。首先🥵是大勢，在(zai)過去的20年裡邊，中(zhōng)國的集成電子領(lǐng)域是一個穩步增(zeng)長的發展階段，中(zhong)芯國際等優勢企(qi)業像雨後春筍般(bān)湧現出來。
全球的(de)微電子領域，年平(píng)均的發展速度大(da)約為4%到5%，但❌是在過(guò)去的20年内，中國微(wei)電子領域一直都(dōu)保持在13%到14%的發展(zhǎn)水平。沒有微電子(zǐ)領域的快速發展(zhan)，就不可能有相關(guan)的領域裝備和🌈材(cai)料的進步。
其次，有(you)研科技集團（原有(you)色金屬研究總院(yuàn)）主要從事有色金(jīn)屬領域的共性技(jì)術開發，經過六十(shí)多年的積澱，我們(men)擁有大量金屬材(cai)料制備和加工技(ji)術，對金屬材料的(de)♍理解非常透徹。這(zhe)些積累為我們在(zai)微電子材料領域(yù)的技術開發和提(ti)升提供了巨大支(zhi)撐。
當然，關鍵的一(yi)點，是有研人的努(nǔ)力和堅持，是一種(zhǒng)産🥵業情懷🏃🏻♂️或💃🏻者說(shuō)國家情懷，一種我(wǒ)們中國人必須做(zuo)得🈲出、做得好的勁(jìn)❗頭。
在我們剛剛進(jin)入這個領域的時(shi)候，範圍内沒有人(ren)做微電🛀子♍靶材，甚(shen)至做集成電路相(xiang)關材料的企業都(dou)非🚶♀️常少，那時🐇候靶(ba)材被霍尼韋爾、東(dōng)曹、威廉姆斯、優美(mei)科、日礦等國外企(qi)🏃🏻業壟斷，中國當時(shí)也有幾家公司和(he)科研機構想進入(rù)這個領域，但受♈制(zhì)于技術門檻和市(shi)場門檻，有些單💁位(wèi)進來又退出了，有(yǒu)些單♊位發展止步(bù)不♋前，國産靶材行(hang)業發展起起伏伏(fu)。在這中間，有研新(xin)材得益于🛀長期的(de)堅持和持續投入(ru)。
當然，國家的重視(shì)和支持為我們的(de)發展提供了強大(dà)支撐。
王興權：我(wo)認為打破國外企(qǐ)業占主體的局面(mian)，指日可待。現在國(guó)内的靶材企業在(zài)國際範圍内競争(zhēng)，從技術到管理再(zài)到市場占有率，已(yǐ)經沒有明顯的劣(liè)勢，尤其是在國内(nèi)市場方面，這幾年(nian)全球集成電路的(de)産業布局向中國(guo)大陸在轉移。從區(qū)域發展來看，中國(guó)大陸的發展速度(dù)會遠遠高于歐美(mei)、東南亞、日本、中國(guó)台灣等其他地區(qu)。在市場交互和本(ben)地化服務方面，國(guó)内企業具備獨特(te)的地緣優勢。
但新(xin)技術的引入，尤其(qí)是5G技術的普及将(jiang)是一個非常好🤩的(de)契機🌈。随着集成電(diàn)路的線寬越來越(yuè)窄，對材料提出了(le)更高🌈的需求，原來(lai)的材料組分、純度(dù)、組織🌈結構已不足(zú)以支撐集成電路(lu)技術指标的躍升(shēng)。有研新材對材料(liào)的理解是非常✊深(shēn)的，對材料元素的(de)🐅控制、材料行為控(kong)制和組織結構控(kong)制是我們的強項(xiang)。這就給了我🏃♂️們一(yi)次突破老産品的(de)固定格局，大✊家站(zhàn)在同一起跑線上(shàng)的😄機會。在新産品(pǐn)框架下，我們💋的材(cái)料技術優勢👄将發(fā)揮得更淋漓盡緻(zhì)。
另外，随着電子信(xìn)息技術的發展和(hé)應用領域的拓寬(kuan)🔱，芯片的特殊功能(neng)性需求越來越高(gāo)，比如未來一些芯(xin)片制程中對材料(liao)的💰磁性能、熱效應(ying)、相變反應、壓電效(xiào)應等方面提出特(te)殊需👌要，很可能已(yi)超越了單質材料(liào)的物理極限，這時(shí)就需要靠特種合(hé)金材⭐料、複合材料(liào)或不同材料的複(fú)合工藝才能滿足(zú)性♋能需求，這就涉(shè)🈲及到材料性質📧與(yǔ)功能的關聯，涉及(ji)到材料的設計。這(zhe)時，誰在💋材料技術(shu)方面積澱深厚🐪，誰(shui)在功能材料開發(fā)🛀🏻方面能力強，誰就(jiù)能💋抓住微電子産(chǎn)業的發展機遇，誰(shuí)就能成為未來的(de)領跑者。
有研新材(cai)辦公樓
02
“電磁光醫(yī)”協同發展
《大國之(zhi)材》：有研新材目前(qián)在新材料領域所(suo)處的一個行業地(di)位如何？
在微電(dian)子薄膜材料領域(yu)，目前我們的全球(qiú)市場占有率大概(gai)5%，數字并不大，但這(zhè)個5%的内涵很重要(yào)，可以分三個維度(dù)來看。
一是從市場(chǎng)維度來看，我們目(mu)前以國内客戶為(wei)主，國内的客戶覆(fù)蓋率接近100%，也就是(shì)說國内幾乎所有(yǒu)微電子企業都會(huì)用到有研新材的(de)材料。
二是從産品(pin)覆蓋維度來看，我(wo)們自己内部一種(zhong)說法叫“全餐”。隻要(yào)是微電子領域用(yòng)的金屬薄膜材料(liào)🐕，無論是濺射靶材(cái)還是蒸發材料，所(suǒ)有的材料品種、所(suǒ)有的産品型♍号有(yǒu)研🐅新材都🈲有。
還有(yǒu)一個重要的維度(dù)，叫垂直一體化。這(zhè)一點在全球😍範圍(wei)内，隻有日本的JX公(gong)司和美國的霍尼(ni)韋爾能夠做得到(dao)（這兩家也🈲沒全⁉️做(zuò)到）。我們不僅僅生(sheng)産靶♍材和蒸發材(cái)料，還可以自己生(shēng)産制作靶材的微(wei)電💞子級原材料， 比(bǐ)如說微電子靶材(cái)用的銅材，我們能(neng)夠把市場上随處(chù)可得的普通的銅(tong)材，提純到“六個九(jiǔ)”的電子級超高純(chun)銅。在微電子領域(yu)，能夠做到原材料(liao)不受制于人，對于(yú)企業的存活和發(fa)展至關重要！
在微(wei)電子薄膜材料領(ling)域，有研新材已經(jīng)是國内行業龍頭(tou)🆚，技術優勢、人才優(yōu)勢、市場優勢已經(jing)形成。
在稀土領域(yu)，有研新材應該說(shuo)是範圍内稀土技(jì)術能力強📧全面的(de)企業。有研新材具(jù)備從稀土選礦、稀(xi)土分離，稀😄土金屬(shǔ)制備的全流程原(yuan)創技術。現在全💘球(qiu)範圍内70%的稀土選(xuan)冶都源于我們的(de)技術。目前有研新(xin)材是全球能生産(chan)多種超高純稀土(tǔ)金屬的企業。我們(men)的稀土發光材料(liao)、稀土磁性材⚽料技(jì)術也具💰備國内領(lǐng)先🈚水平。
在紅外光(guang)學材料方面，有研(yan)一直掌握着行業(ye)引領性技術，中國(guo)的根鍺單晶就出(chu)自我們之手，目前(qián)有研新材是國内(nèi)😄大的紅外鍺單晶(jing)和二六族晶體生(sheng)産企業。
在生物醫(yi)用材料方面，中國(guo)根牙弓絲、支食道(dao)支架📧、支🥵膽道支架(jià)、支前列腺支架等(deng)等，都是由我們出(chū)品的。
總而言之，有(you)研新材是一家市(shì)場導向、技術先導(dao)型企業，在材料領(ling)域具有強大的技(ji)術創新和技術轉(zhuǎn)㊙️化能🌏力，使企業👈在(zai)發展中始終保持(chí)旺盛的活力和🍉動(dòng)力，為企業提供了(le)廣闊的發展空間(jian)。
《大國之材》：公司對(dui)未來市場的布局(ju)，有哪些新的舉措(cuò)？
電(dian)子薄膜材料闆塊(kuài)是有研新材的核(hé)心業務闆塊，也是(shì)未來重點發展的(de)産業領域。公司将(jiang)持續加大在這一(yī)領域的資源配置(zhì)力度，不斷優化産(chǎn)業布局，壯大産業(yè)規模，并終成為全(quan)球領先的微電子(zi)薄膜材料和相關(guān)服務的提供者。
稀(xi)土領域，我們将大(da)力推動稀土綠色(sè)清潔選冶技術，提(ti)供行業服務，助推(tui)我國稀土産業的(de)良性發展，同時充(chong)分發揮全産業鍊(lian)技術優勢，發展特(te)種磁性材料産業(yè)。
特種光學材料領(ling)域，繼續保持行業(yè)領頭羊的位置🔱，充(chōng)分發揮♻️核心材料(liao)優勢，适度延伸産(chǎn)業鍊。
生物醫用領(lǐng)域，走市場化道路(lu)，引入優質的資本(ben)方和資🏒源方，使🥰其(qi)具有高度市場活(huó)力和企業活力，推(tuī)動快速發展。